全球半導(dǎo)體產(chǎn)能緊張持續(xù)一年了,芯片擴(kuò)產(chǎn)需要包括光刻機(jī)在內(nèi)的重要設(shè)備,結(jié)果前幾天全球最大光刻機(jī)巨頭ASML在德國的工廠遭遇火災(zāi),官方表示還要幾天才能評(píng)估損失,但是現(xiàn)在可以確定主要是EUV光刻機(jī)生產(chǎn)會(huì)受影響。

ASML旗下的這家公司位于德國柏林,前身是Berliner Glas,ASML公司2020年才收購了這家公司,它們的營收額并不高,但生產(chǎn)的是光刻機(jī)中的一種重要部件,可以用于光刻機(jī)及晶圓之間的接口,需要有納米級(jí)別的操作精度,可以說是小而精了。
根據(jù)ASML的消息,雖然評(píng)估是否影響今年的光刻機(jī)交貨還有點(diǎn)早,但這次事件影響的主要是EUV光刻機(jī)生產(chǎn),DUV光刻機(jī)不受影響。
EUV光刻機(jī)是生產(chǎn)7nm以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備,ASML是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商,每臺(tái)售價(jià)1億歐元,將近10億人民幣,去年交付了35臺(tái)EUV光刻機(jī),今年計(jì)劃交付55臺(tái)EUV光刻機(jī),三星、臺(tái)積電及Intel是主要的客戶。
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