4月1日消息，有媒體報(bào)道，中國(guó)廠商向ASML訂購(gòu)的先進(jìn)光刻機(jī)一而再的被阻礙，ASML對(duì)外表示：受到疫情的影響，公司提供給武漢以及其他地區(qū)客戶的EUV設(shè)備出貨，均受到了影響，同時(shí)公司的供應(yīng)鏈出現(xiàn)了問題，目前已經(jīng)解決。

　　向ASML訂購(gòu)EUV光刻機(jī)的中國(guó)芯片廠商應(yīng)該就是中芯國(guó)際，早在1月份與去年11月份，ASML就因?yàn)檠舆t出貨而被質(zhì)疑。

　　今年1月份，ASML CEO對(duì)外表示，已經(jīng)向荷蘭政府提交了中國(guó)客戶出貨的申請(qǐng)，但一直在審批。同時(shí)在去年11月份，有媒體報(bào)道，受到了美國(guó)的壓力ASML將暫停向中芯國(guó)際供貨。

　　追溯這條新聞，結(jié)果發(fā)現(xiàn)中芯國(guó)際是在2018年中旬向ASML訂購(gòu)的這臺(tái)EUV光刻機(jī)，價(jià)格為1.2億美元，預(yù)計(jì)在2019年底交付，2020年正式安裝，但如今ASML始終沒有交付。

　　據(jù)了解，中芯國(guó)際的7nm以下制程將使用ASML供應(yīng)的這臺(tái)EUV光刻機(jī)，目前中芯14nm已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)，12nm也已經(jīng)有了重大突破。

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